- 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
北玻鍍膜水平式建筑鍍膜線，采用磁控濺射沉積技術(shù)，在玻璃表面沉積一系列介質(zhì)和金屬薄膜，主要用于加工各種low-E玻璃、AR膜，以及陽光控制玻璃等。
設(shè)備特點(diǎn)：
1. 濺射室由一系列結(jié)構(gòu)相同的795mm井位單元構(gòu)成
2. 泵井位采用獨(dú)特的氣體隔離裝置
3. 應(yīng)用新一代以鋁型材為支撐結(jié)構(gòu)的可調(diào)式磁棒
4. 設(shè)計(jì)5-9段輔助工藝氣體分配系統(tǒng)，每一段可以選擇不同類型的氣體
5. 采用伺服電機(jī)控制，實(shí)現(xiàn)傳輸?shù)母呔瓤刂啤?br />
6. 不斷縮小進(jìn)/出口室腔體體積，提高節(jié)拍，降低成本
7. 工藝氣體分配系統(tǒng)集成在陰極蓋板上
8. 每一個(gè)陰極單元都配有獨(dú)立的控制系統(tǒng)
9. 前后室采用整體式蓋板設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)機(jī)械提升和液壓提升
10. 鍍膜區(qū)采用磁懸浮分子泵和干泵
技術(shù)參數(shù)：
SE2540H系列
SE3300H系列
基片
浮法玻璃，鋼化玻璃，夾膠玻璃等
基片尺寸
Max. 2540×3660mm（可定制）
Max. 3300×6000mm（可定制）
基片厚度
3-19mm（可定制）
機(jī)械節(jié)拍
> 20s
>30s
極限真空
< 2E-6mbar
有效運(yùn)行時(shí)間
>95%
膜層均勻性
≤±1.0%
